年度	2014
全部作者	邱一
论文名称	“A three-axis single-proof-mass CMOS-MEMS piezoresistive accelerometer with frequency output,” Y. Chiu, T.-C. Huang, and H.-C. Hong, Sensor Mater. 26(2), 95-108 (2014).
发表日期	2014-05-19