年度 | 2011 |
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全部作者 | 邱一 |
論文名稱 | “Micro knife-edge optical measurement devices fabricated by SOI and CMOS MEMS processes,” T-L. Chang, V. F-G. Tseng, and Y. Chiu, IEEE/LEOS Optical MEMS and Nanophotonics 2007, Taiwan, 31-32 (2007). |
發表日期 | 2011-07-26 |
登入 陽明交通大學 電控工程研究所
年度 | 2011 |
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全部作者 | 邱一 |
論文名稱 | “Micro knife-edge optical measurement devices fabricated by SOI and CMOS MEMS processes,” T-L. Chang, V. F-G. Tseng, and Y. Chiu, IEEE/LEOS Optical MEMS and Nanophotonics 2007, Taiwan, 31-32 (2007). |
發表日期 | 2011-07-26 |