年度 | 2011 |
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全部作者 | 邱一 |
論文名稱 | “Batch assembly of three dimensional microstructures on SOI wafers using SU-8 mechanisms and vertical one-push operation,” C.-A. Lin, C.-S. Wu, W.-Z. Huang, and Y. Chiu, 第十三屆奈米工程暨微系統技術研討會, 2009. |
發表日期 | 2011-07-26 |
登入 陽明交通大學 電控工程研究所
年度 | 2011 |
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全部作者 | 邱一 |
論文名稱 | “Batch assembly of three dimensional microstructures on SOI wafers using SU-8 mechanisms and vertical one-push operation,” C.-A. Lin, C.-S. Wu, W.-Z. Huang, and Y. Chiu, 第十三屆奈米工程暨微系統技術研討會, 2009. |
發表日期 | 2011-07-26 |