年度 2011
全部作者 邱一
論文名稱 “Batch assembly of three dimensional microstructures on SOI wafers using SU-8 mechanisms and vertical one-push operation,” C.-A. Lin, C.-S. Wu, W.-Z. Huang, and Y. Chiu, 第十三屆奈米工程暨微系統技術研討會, 2009.
發表日期 2011-07-26